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    半導(dǎo)體氣體傳感器是采用半導(dǎo)體材料的氣敏元件與測(cè)量氣體相接觸，其性質(zhì)發(fā)生變化，從而檢測(cè)出氣體類別和濃度。

    半導(dǎo)體氣體傳感器按測(cè)量值的變化可分為電阻式和非電阻式兩種類型。電阻式是敏感材料與氣體相接觸時(shí)阻值會(huì)改變，電阻式可分為表面控制型傳感器和體控制型傳感器。非電阻式是由于吸附和反應(yīng)，利用功函數(shù)直接或間接對(duì)氣體進(jìn)行檢測(cè)，非電阻式可分為表面電位傳感器、二極管傳感器和晶體管傳感器。

    半導(dǎo)體氣體傳感器的特性主要有：氣體選擇特性；氣體濃度特性；初始穩(wěn)定、氣敏響應(yīng)和恢復(fù)特性；靈敏度與穩(wěn)定性；溫濕度影響。首先得判斷氣體對(duì)哪種氣敏材料敏感；氣體濃度與傳感器的輸出關(guān)系稱為濃度特性；一般氣敏元件都有加熱器，在初始加熱階段，電阻值快速下降，直到穩(wěn)定狀態(tài)，時(shí)間大約為2-10分鐘，只有達(dá)到這個(gè)狀態(tài)才能放入到氣體當(dāng)中進(jìn)行檢測(cè)。