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科普知識
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直線感應電機

這項技術將會成為提高3D NAND FLASH競爭力的關鍵

發(fā)布日期:2022-04-18 點擊率:76


  Cellon Peripheral Circuit(以下簡稱Cell on Peri)構造由美光(Micron)與英特爾(Intel)陣營開發(fā),采用將3D NAND Flash晶胞(Cell)數組堆棧在外圍電路CMOS邏輯IC上的方式,以縮減采3D NAND Flash解決方案的芯片面積。DIGITIMES Research觀察,三星電子(Samsung Electronics)已提出類似此一構造的COP(Cell Over Peri)方案,將有利整合組件廠(Integrated Device Manufacturer;IDM)三星、東芝(Toshiba)提升其3D NAND Flash競爭力。

  然而,Cell on Peri構造將原先在不同制程制作的3D NAND Flash與邏輯電路結合于單一制程,雖有其優(yōu)點,但尚存諸多課題,包括相關產線與設備需延伸、擴大,將導致業(yè)者的資本支出增加,且3D NAND Flash經高溫制程后,恐因高溫而破壞下方CMOS電路,將影響良率。

  由于三星同時生產3D NAND Flash與邏輯電路,如Cell on Peri構造能克服良率與成本等問題,可望成為其爭取蘋果(Apple)應用處理器(Application Processor;AP)訂單的優(yōu)勢,而東芝半導體事業(yè)涵蓋3D NAND Flash與系統(tǒng)LSI,美光與英特爾陣營亦可結合雙方3D NAND Flash與CPU,運用Cell on Peri構造,有助其提升3D NAND Flash競爭力。

  另外,3D NAND Flash若引進Cell on Peri構造,由于在形成外圍區(qū)域后,需經過化學機械研磨(Chemical Mechanical Polishing;CMP)制程使之平坦化,才能于其上形成3D NAND Flash晶胞數組,將使得CMP制程的重要性提高。

  Cell on Peri構造有利采3D NAND Flash解決方案縮減芯片面積

  Cellon Peri系由美光與英特爾陣營所開發(fā),其與Peri under Cell是相同概念,意味先形成外圍(Peripheral)區(qū)域后,再堆棧晶胞,也就是運用將3D NAND Flash晶胞數組堆棧在外圍電路CMOS邏輯IC上的方式,縮減采3D NAND Flash解決方案的芯片面積。

  具體而言,Cell on Peri構造將字符線譯碼電路與感測放大器(Sense Amplifier)電路置于下層,且將3D NAND Flash晶胞數組置于上層。

  為此,Cell on Peri構造需增加約4層的金屬配線,其中2層金屬配線位在3D NAND Flash晶胞數組下方,用來鏈接上方3D NAND Flash晶胞數組及下方CMOS電路。

  至于另2層金屬配線,則在3D NAND Flash晶胞數組上方,分別為位線與電源總線(Bus)。

  美光與英特爾陣營于3D NAND Flash所開發(fā)的Cell on Peri構造

  這項技術將會成為提高3D NAND FLASH競爭力的關鍵

  數據源:美光、英特爾、南韓NH投資證券

  換個方式比喻,Cell on Peri構造如同將商店街設于住宅下方的住商混合大樓,有利于節(jié)省土地面積,反觀既有構造則如同住宅與商業(yè)用途各自分開的兩棟大樓,需較大土地面積。

  Cell on Peri構造有利采3D NAND Flash解決方案縮減芯片面積示意圖

  這項技術將會成為提高3D NAND FLASH競爭力的關鍵

  數據源:南韓NH投資證券

  由于外圍區(qū)域占整體3D NAND Flash約30%面積,將3D NAND Flash晶胞數組堆棧在外圍電路之上,有助于采用3D NAND Flash解決方案縮減芯片面積

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