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前一篇劉教授為我們介紹了直壓法泄漏測量以及它的優缺點，由于有些被測部件（UUT）不能承受過高的壓力，還有一些部件對泄漏量要求更加嚴格，直壓法已經不能滿足工藝要求，于是差壓法泄漏測量應運而生。

差壓法泄漏測量需要增壓一個參考腔(Ref)，參考腔的結構應該盡可能與被測部件(UUT)保持一致，外部設備為測量制造一個滿足測量條件的正壓或負壓，當達到工藝設定的壓力時斷開壓力源，待內部壓力穩定后將Ref和UUT斷開，一個高精度的差壓傳感器用來比較Ref和UUT內部的壓力的跌落/上升隨時間的變化ΔP/Δt，由于Ref預先已經過驗證，可以認為系統壓力的跌落/上升來自UUT。

系統可用氮氣或通過油水分離器凈化的空氣作為氣壓源，通過可調節閥門向系統充氣，也可以通過真空發生器為系統制造一個負壓環境。測量環境壓力可采用精度略低的表壓傳感器或真空傳感器監視，例如Setra Model 209/206（如下圖所示）。

Model 209

Model 206

差壓法泄漏測量通常是針對非常小的泄漏量設計的，因此對差壓測量泄漏使用的傳感器要求精度高、量程小但靜壓能力高，穩定性和重復性好。Setra干式電容技術制造的高精度壓力傳感器ASL（如下圖所示）是這個應用的優選。

ASL高精度壓力傳感器

差壓法泄漏測量系統增加了與被測部件等同的被測腔體，使得兩側的溫度影響得到抵消，整個測量過程溫度影響大大減小。同時因為測量是兩個腔體壓力的比較，在使用高精度差壓傳感器的情況下測量精度非常高，可以在比被測部件承壓略高的條件下得到高精度的測量結果，大大擴展了應用范圍，逐漸被越來越多的現場測量工藝采用。

差壓法測量的另一個優勢是負壓腔泄漏的測量。當被測部件（UUT）工作時處于負壓狀態，要對它進行負壓狀態下的泄漏測量，這時其它測量方法是無法完成的，差壓法泄漏測量變的不可替代。

未完待續，敬請期待！