激光功率和能量計(jì)主要用來測量光源的輸出。無論光發(fā)射是來源于弱光源（如熒光），還是來源于高能量的脈沖激光器，功率和能量計(jì)都是實(shí)驗(yàn)室、生產(chǎn)部門或是工作現(xiàn)場等多種應(yīng)用環(huán)境中必不可少的工具。
雖然功率計(jì)和能量計(jì)是分別提供的，但隨著能夠適用大量不同類型的光學(xué)傳感器的通用型儀表盤或顯示裝置的發(fā)展，它們也被合起來稱作單獨(dú)的一類儀器——功率和能量計(jì)，或PEM。儀器所采用的光學(xué)傳感器的類型，決定了其能測量光功率還是光能量，通常單位分別瓦特（W）或焦耳（J）。具體來講，功率計(jì)能夠測量連續(xù)波（CW）或者重復(fù)脈沖光源，其所使用的傳感器通常是熱電堆或光電二極管。能量計(jì)則通常用于測量脈沖激光，即單脈沖或者重復(fù)脈沖光源，其所使用的傳感器包括熱釋電、熱電堆，或者帶有專門為測量脈沖光源而設(shè)計(jì)的電路的光電二極管。
系統(tǒng)配置
一些制造商將功率或能量計(jì)分為具有控制和示值讀數(shù)功能的測量部分（或儀表盤）和傳感器部分（也稱為探測器或探頭），兩者結(jié)合在一起就組成一套“測量系統(tǒng)”。另一些廠商將這兩者統(tǒng)稱為測量儀。無論哪種分類方式，傳感器都存儲有校準(zhǔn)信息，儀表盤則測量傳感器的輸出電流，并參考校準(zhǔn)表來輸出數(shù)據(jù)。
在某些配置中，儀表盤會作為探測器與用戶之間的接口，通過RS-232或者USB連接方式直接向電腦傳輸測量數(shù)據(jù)，在這種情況下，顯示裝置就不再是必需的了。測量數(shù)據(jù)可能包括功率、差值、總和、線性、對數(shù)值和幾個(gè)通道同時(shí)衰減的曲線。大部分PEM儀表盤是數(shù)字式的，但是對于功率只有小幅波動的應(yīng)用而言，模擬式測試儀就足以勝任了。
傳感器的選擇比較復(fù)雜。目前市場上應(yīng)用的三種主要傳感器類型有：光電二極管、熱傳感器和熱釋電傳感器。光電二極管傳感器由光電二極管和ND）濾光片組成，以確保入射到探測器上的功率能夠保證傳感器線性工作，其中光電二極管通常選用硅（Si）、鍺（Ge）或銦砷化鎵等材料，每種光電二極管具有不同的峰值波長和響應(yīng)范圍。每個(gè)光電二極管在不同的波長處具有不同的響應(yīng)度。響應(yīng)度的單位是A/W，代表了傳感器將入射光轉(zhuǎn)換為電流的效率。具有快速響應(yīng)時(shí)間的傳感器對波長敏感，因此最適用于測量低功率激光。
熱傳感器通過將入射光轉(zhuǎn)換成熱能來測量功率或能量。熱傳感器在186nm~10.6μm的波長范圍內(nèi)具有平坦的光譜響應(yīng)，因此其適用于多波長或者非單色光的測量。光電二極管也可以測量紫外（UV）到紅外（IR）波段的波長，但是其在不同波長處具有不同的響應(yīng)度，因此必須將激光波長輸入測量儀以獲得正確的讀數(shù)。在1800 nm或更長的波長處，熱探測器通常是唯一的選擇。熱傳感器可以承受高功率激光，但是如果功率變化范圍較大的話，則需要幾秒鐘才能達(dá)到平衡。由于不像光電二極管那樣靈敏，因此熱傳感器不適合用于低功率測量。
熱釋電傳感器通過將光脈沖能量轉(zhuǎn)換成電壓信號來測量脈沖能量。熱釋電傳感器能響應(yīng)較寬的波長范圍，但是其響應(yīng)曲線不如熱傳感器那么平坦。熱釋電傳感器只能測量脈沖光源，并有最小帶寬要求以使傳感器能夠“看到”脈沖。
目前市場上的許多功率和能量計(jì)都兼容這三類傳感器（見圖1）。如果將通用型儀表盤和功率傳感器一起使用，這套裝置就是功率計(jì)；如果將通用型儀表盤和能量傳感器一起使用，這套裝置就是能量計(jì)。
圖 1：Thorlabs公司為自由空間和光纖應(yīng)用設(shè)計(jì)的PM100D功率計(jì)，可以兼容超過25種不同的功率和能量傳感器。根據(jù)所選取的傳感器，其可測量的光功率范圍為100pW~250W，可測量的能量范圍為3μJ~15J。當(dāng)與新型超緊湊的S150C系列光纖傳感器一起使用時(shí)，PM100D就變成了一款緊湊便攜的光纖功率計(jì)，是現(xiàn)場和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用的理想選擇。
選擇何種傳感器？
這部分內(nèi)容將介紹哪些類型的傳感器可用于測量功率，哪些可用于測量能量，以及它們的測量范圍。用于測量功率的熱電堆探測器往往面積較大，具有較高的損傷閾值，功率測量范圍從毫瓦到千瓦。基于半導(dǎo)體的光電二極管探測器不但體積較小，而且靈敏度高，功率測量范圍從皮瓦到毫瓦。
這三種類型的探測器都可用于測量能量。熱電堆探測器是毫秒（ms）量級單脈沖測量、或者每個(gè)脈沖能量達(dá)幾焦耳的高能量光束測量的理想選擇。熱釋電探測器最適合短脈沖（脈寬從fs到ms）和寬能量范圍（從50nJ到焦耳量級）的測量。光電探測器則適合測量低能量（從fJ到mJ量級）的短脈沖（脈寬從fs到ms）。每個(gè)探頭和儀器模塊的關(guān)鍵指標(biāo)的性能范圍有較大差異，用戶在選擇之前，最好要提前與產(chǎn)品專家了解具體情況。
光電二極管探測器可與積分球一起使用，以獲得對光源的均勻和準(zhǔn)確測量。Lasermet公司帶有積分球的光電二極管探頭，通常能夠測量的功率小至1μW；緊湊型探頭能夠測量的功率小至1nW，光束可以直接照射到這種光電二極管上（見圖2）。熱探頭通常可以測量的功率低至1mW。
圖2：Lasermet公司的手持式ADM1000數(shù)字式測量儀，通過熱探頭和光電二極管探頭，能在較寬的波長范圍內(nèi)測量功率和能量，并可以選擇是否配備積分球。配備的加速電路可在700ns內(nèi)獲得最終讀數(shù)10％以內(nèi)的響應(yīng)度。ADM1000可用于測量、顯示高達(dá)400kHz的脈沖波形。
對于高功率光源，Lasermet公司的光電二極管探頭通常可以測量的最大功率為1W，如果采用濾光片截止掉90％或者99％的光束（盡管這將引起反射并且會影響測量的準(zhǔn)確度），則可以測量更高的功率。熱探頭可以測量的功率高達(dá)20W，特制的熱探頭可以測量功率高達(dá)100W甚至幾千瓦的激光。
光電二極管擁有最快的響應(yīng)速度。Lasermet公司的IPDH-10S和IPDH-10C光電二極管與ADM1000一起使用時(shí)，頻率響應(yīng)可達(dá)到400kHz，這比市場上其他任何探測器的響應(yīng)速度大約快1000倍。這樣的響應(yīng)速度能夠分離和顯示單脈沖波形，并且可以測量出單脈沖的能量。
光電二極管也提供了更高的熱穩(wěn)定性，而熱探測器則容易受到熱干擾和熱漂移的影響，因此更難準(zhǔn)確使用。目前市場上已經(jīng)有一些熱探測器結(jié)合了溫度穩(wěn)定技術(shù)，從而大大減少了熱漂移。
關(guān)鍵指標(biāo)
選擇PEM時(shí)首先要考慮的指標(biāo)是傳感器的波長范圍以及對功率和能量的測量范圍。測量儀應(yīng)該能夠在未飽和的狀態(tài)下給出測量值。通常飽和電流在10mA量級（峰值響應(yīng)處的功率約為10mW）。高功率的測量通常采用積分球或光衰減器來降低飽和。系統(tǒng)的另一個(gè)重要指標(biāo)是最低可測量的功率/能量水平處的信噪比。典型的噪聲水平在幾mW量級，高靈敏度模塊可測量的功率低至1μW。
在挑選了合適的探頭來測量激光或?qū)拵Ч庠春螅乱粋€(gè)要考慮的問題是破壞閾值。用戶需要了解被測量的功率和能量密度，以免探頭被破壞。這需要了解光斑尺寸以及能量分布。高斯光束在光束頂部具有非常高的功率/能量密度。
脈寬是測量脈沖激光時(shí)需要考慮的一個(gè)關(guān)鍵因素。大多數(shù)傳感器具有不同的基于峰值功率的破壞閾值；當(dāng)脈沖能量相同時(shí)，短脈沖相比較而言將具有高得多的峰值功率，更容易破壞傳感器。對于高于破壞閾值的應(yīng)用，用戶可采用的衰減手段包括分光器、漫反射和中性濾光片等。
另一個(gè)重要的指標(biāo)是不確定度，這關(guān)系到準(zhǔn)確性和一致性。大多數(shù)公司根據(jù)美國標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)協(xié)會（NIST）制定的標(biāo)準(zhǔn)對其儀器進(jìn)行校準(zhǔn)，這些標(biāo)準(zhǔn)提供了基于標(biāo)準(zhǔn)物理常數(shù)的不確定度，例如水中的溫升。準(zhǔn)確度的誤差應(yīng)以百分比的形式對每個(gè)傳感器和顯示器進(jìn)行標(biāo)注（見圖3）。
圖3：OSI公司的Juno是一種多功能緊湊型PEM，其與OSI公司的所有“智能型”熱釋電、熱電堆和光電二極管傳感器兼容。Juno的波長測量范圍從紫外到遠(yuǎn)紅外，能量測量范圍從100fJ到幾百焦，功率測量范圍從10pW到10kW，光源的重復(fù)頻率可高達(dá)10kHz。Juno通過USB接口將筆記本或臺式電腦轉(zhuǎn)換成一個(gè)激光PEM，是現(xiàn)場和實(shí)驗(yàn)室應(yīng)用的理想選擇，另外其也可作為內(nèi)置的OEM傳感器。
每種型號的探頭和測量儀器的關(guān)鍵指標(biāo)的工作范圍相差巨大。選擇的關(guān)鍵是要使激光器或光源的輸出參數(shù)與探測器和儀器的指標(biāo)相匹配，即測量儀器的指標(biāo)應(yīng)該覆蓋激光器的輸出參數(shù)。
權(quán)衡與取舍
選擇PEM時(shí)需要進(jìn)行許多權(quán)衡與取舍。例如，如果用戶需要測量光束直徑小的高功率激光，就需要具有高損傷閾值的探頭。但是具有高損傷閾值的PEM的靈敏度并不高，所以無法用同一個(gè)探頭讀取極高和極低的功率。用于更高讀數(shù)的能量探測器也會碰到同樣的情況。此外，某些特定產(chǎn)品可以測量單個(gè)脈沖的高能量，但是它們只能在低重復(fù)頻率下工作，不能在高功率下應(yīng)用。因此，在實(shí)際應(yīng)用中，用戶需要根據(jù)具體情況進(jìn)行一定的權(quán)衡。
雖然PEM已經(jīng)出現(xiàn)了很長一段時(shí)間，但激光和太赫茲源技術(shù)的新進(jìn)展，已經(jīng)為光源測量創(chuàng)造了新的挑戰(zhàn)，這些測量需要獨(dú)特的傳感器和儀器。自從高重復(fù)頻率DPSS和光纖激光器出現(xiàn)以來，測量和控制重復(fù)頻率為100kHz甚至更高頻率的脈沖激光器的輸出，曾一度讓人們面臨很大的困難。Gentec-EO公司宣稱其Mach 5是一款能夠很好解決上述需求的數(shù)字焦耳計(jì)，希望廣大用戶真正能從中受益（見圖4）。
圖 4：Gentec-EO公司的Mach 5型數(shù)字焦耳計(jì)，用于測量高重復(fù)頻率的DPSS、調(diào)Q激光器和重復(fù)頻率高達(dá)130kHz的超快光纖激光器的輸出，測量精度高達(dá)12位。Mach 5在最大重復(fù)頻率下可以存儲多達(dá)400萬個(gè)脈沖（40秒的數(shù)據(jù)）。Mach 5的探頭包括熱釋電探測器、硅探測器和InGaAs探測器，可測量的能量范圍從μJ到mJ量級，測量精確度可達(dá)4％。
