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光柵傳感器

光柵傳感器的原理結構介紹

發布日期:2022-10-09 點擊率:73

    一般常用的光柵是在玻璃片上刻出大量平行刻痕制成,刻痕為不透光部分,兩刻痕之間的光滑部分可以透光,相當于一狹縫。


    精制的光柵,在1cm寬度內刻有幾千條乃至上萬條刻痕。


    這種利用透射光衍射的光柵稱為透射光柵,還有利用兩刻痕間的反射光衍射的光柵;


    如在鍍有金屬層的表面上刻出許多平行刻痕,兩刻痕間的光滑金屬面可以反射光,這種光柵成為反射光柵。


    由光柵形成的疊柵條紋具有光學放大作用和誤差平均效應,因而能提高測量精度。


    光柵由標尺光柵、指示光柵、光路系統和測量系統四部分組成。


    標尺光柵相對于指示光柵移動時,便形成大致按正弦規律分布的明暗相間的疊柵條紋。


    這些條紋以光柵的相對運動速度移動,并直接照射到光電元件上;


    在它們的輸出端得到一串電脈沖,通過放大、整形、辨向和計數系統產生數字信號輸出,直接顯示被測的位移量。


    光柵傳感器的結構及工作原理


    光柵傳感器的結構均由光源、主光柵、指示光柵、通光孔、光電元件這幾個主要部分構成。


    1、光源:


    鎢絲燈泡,它有較小的功率,與光電元件組合使用時,轉換效率低,使用壽命短。


    半導體發光器件,如砷化鎵發光,可以在范圍內工作,所發光的峰值波長為,與硅光敏的峰值波長接近;


    因此,有很高的轉換效率,也有較快的響應速度。


    2、光柵付:


    由柵距相等的主光柵和指示光柵組成。


    主光柵和指示光柵相互重疊,但又不完全重合。


    兩者柵線間會錯開一個很小的夾角,以便于得到莫爾條紋。


    一般主光柵是活動的,它可以單獨地移動,也可以隨被測物體而移動;


    其長度取決于測量范圍。指示光柵相對于光電器件而固定。


    3、通光孔:


    通光孔是發光體與受光體的通路,一般為條形狀,其長度由受光體的排列長度決定,寬度由受光體的大小決定。


    它是帖在指示光柵板上的。


    4、受光元件:


    受光元件是用來感知主光柵在移動時產生莫爾條紋的移動,從而測量位移量。


    在選擇光敏元件時,要考慮靈敏度、響應時間、光譜特性、穩定性、體積等因素。


    將主光柵與標尺光柵重疊放置,兩者之間保持很小的間隙,并使兩塊光柵的刻線之間有一個微小的夾角θ,如圖所示。


    當有光源照射時,由于擋光效應(對刻線密度≤50條/mm的光柵)或光的衍射作用(對刻線密度≥100條/mm的光柵),與光柵刻線大致垂直的方向上形成明暗相間的條紋。


    在兩光柵的刻線重合處,光從縫隙透過,形成亮帶;


    在兩光柵刻線的錯開的地方,形成暗帶;這些明暗相間的條紋稱為莫爾條紋。

 

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標簽: 光柵傳感器

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