發布日期：2022-11-05 點擊率：49
為了給真空室中工作的機構供電，需采用真空電傳導結構，電傳導電極引入導線與導線之間、導線與真空室壁之間應該滿足的電絕緣、真空密封和承受一定的電流負荷要求。
電極及電極密封材料的選取取決于工作電壓、電流、頻率溫度等；電傳導結構形式的選擇取決于設備的工作壓力范圍。根據電傳導結構的用途不同可分為：低壓小電流引入結構、低壓大電流引入結構和高壓引入結構等。
在設計和確定電傳導結構時應該注意以下問題：
(1)引入線截面積應根據通過電流及所選材料來確定。不同材料允許通過的最大電流不同。所選擇的引入線截面積應大于理論計算值。
(2)根據引入線的工作電壓不同，選擇不同的絕緣材料，并計算出絕緣厚度。
某些絕緣材料的擊穿電壓閾值
擊穿電壓50Hz | 石英玻璃 | 鋁玻璃 | 硼硅玻璃 | 鈉鈣玻璃 | 陶瓷 | 有機玻璃 | 硅橡膠 | 氟橡膠 | 聚四氟乙烯 | 聚氯乙烯 |
kV/mm | 25~40 | 5~20 | 20~35 | 5~20 | 13.5 | 20 | 12~20 | 15 | 40 | 25~50 |
(3)橡膠密封的大電流電極引入線如果通過的電流很大，則產生的焦耳熱會使密封材料失效。此時，引入線應該采用水冷結構；
(4)高真空系統的引入線應能承受450℃的烘烤；
(5)應該避免各種金屬蒸鍍或濺射到引入線的絕緣材料上，以避免造成漏電短路、放電等問題。
將電流輸入到真空容器中去進行供電，在各種真空設備上是經常遇到的，對于金屬真空設備來說，這種引線裝置最好采用可拆卸的連接密封，這樣便于維修。
(慧樸科技，huiputech)
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