环球电气之家-午夜精彩视频-中国专业电气电子产品行业服务网站！

干涉顯微鏡法采用與輪廓儀法相同的試樣處理方法，即造成基體與鍍層之間的臺(tái)階，利用多光束干涉測(cè)量?jī)x對(duì)該臺(tái)階的高度進(jìn)行測(cè)量。

干涉測(cè)量?jī)x有一個(gè)貼于試樣作平面基準(zhǔn)板的透鏡。當(dāng)一束單色光在試樣上和上述透鏡之間來(lái)回反射時(shí)，就可通過(guò)一個(gè)低倍顯微鏡來(lái)觀察干涉條紋圖像。若將基準(zhǔn)板相對(duì)于待測(cè)試樣表面稍微傾斜，就會(huì)形成一系列平行的干涉條紋線。試樣表面的臺(tái)階會(huì)使干涉條紋偏移。一個(gè)條紋間距偏移相當(dāng)于單色光半個(gè)波長(zhǎng)的垂直位移，干涉條紋所移動(dòng)的間距和形狀可用帶刻度線的目鏡測(cè)微計(jì)來(lái)觀察和測(cè)定。

本方法可用來(lái)測(cè)量2μm以下、具有高反射率的鍍層。詳見(jiàn)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)ISO3868金屬及其它無(wú)機(jī)覆蓋層斐索（Fizeau）多光束干涉測(cè)量法。